離子化磁控濺鍍之薄膜的微結構與物性研究
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A01027011
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱國峰(Chiu， K. F.) 莫文皓(Mok， B. H.)
- 主題與關鍵字：
- 離子化磁控濺鍍 薄膜 微結構 物性 IMSD技術
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:14:3 民90.10
- 頁次:頁22-28
- 日期：
- 20011000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
