微小光學元件製作技術應用
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- 資料識別：
- A01024783
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳秀香
- 主題與關鍵字：
- 微影 電漿蝕刻 IC製程 微光學 Lithography Plasma etching IC process Micro-optics
- 描述：
- 來源期刊:光學工程
- 卷期:75 民90.09
- 頁次:頁58-64
- 日期：
- 20010900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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