以微影及帶磨法(Belt Sanding)製作微小孔之技術

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資料識別:
A01023126
資料類型:
期刊論文
著作者:
陳曼玲 謝添壽 劉佩青
主題與關鍵字:
微小孔 增層法 帶磨法 光阻 Micro via Build up Belt sanding Photoresist
描述:
來源期刊:工業材料
卷期:175 民90.07
頁次:頁134-138
日期:
20010700
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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