掃描電容顯微鏡在微量鐵污染對薄氧化層影響之研究
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- 資料識別：
- A01020119
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張茂男 陳志遠 張子云 潘扶民
- 主題與關鍵字：
- 掃描電容顯微鏡
- 描述：
- 來源期刊:國科會國家毫微米元件實驗室通訊
- 卷期:8:3 民90.08
- 頁次:頁12-17
- 日期：
- 20010800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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