半導體廠自動化之通訊協定SECSⅠ/Ⅱ＆GEM
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- 資料識別：
- A01019594
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李文猶 陳玉雲 蔡嘉鴻
- 主題與關鍵字：
- 電腦整合製造 半導體機臺通訊標準 半導體設備與材料國際聯盟 生產設備通用通訊模組 CIM SECS SEMI GEM
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:222 民90.09
- 頁次:頁230-241
- 日期：
- 20010900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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