半導體廠自動化之通訊協定SECSⅠ/Ⅱ&GEM

推薦分享

Share

資源連結

連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)

後設資料

資料識別:
A01019594
資料類型:
期刊論文
著作者:
李文猶 陳玉雲 蔡嘉鴻
主題與關鍵字:
電腦整合製造 半導體機臺通訊標準 半導體設備與材料國際聯盟 生產設備通用通訊模組 CIM SECS SEMI GEM
描述:
來源期刊:機械工業
卷期:222 民90.09
頁次:頁230-241
日期:
20010900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

引用這筆典藏 引用說明

引用資訊
直接連結

評分與驗證

請為這筆數位資源評分

star star star star star

推薦藏品

遮陰對十八種適用綠籬植物葉片壽命之影...
飼糧中黃麴毒素及類胡蘿蔔素對土番鴨腹...
明鄭時期臺灣「名士佛教」的特質分析
豬博德氏菌、巴氏桿菌、放線桿菌、大腸...
從西醫觀點論婦科腫瘤
美學、民族誌與文學的文化功能:專訪嘉...