300mm晶圓載入系統之氣流及污染粒子特性研究
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- 資料識別：
- A01019592
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蕭宗容 胡石政 吳宗明
- 主題與關鍵字：
- 標準機械介面 300mm晶圓傳送盒 300mm晶圓載入機 微潔淨環境 SMIF Standard mechanical interface FOUP Front opening unified pod Load port Minienvironment
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:222 民90.09
- 頁次:頁213-220
- 日期：
- 20010900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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