電漿輔助化學氣相沈積系統淺論

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資料識別:
A01019590
資料類型:
期刊論文
著作者:
郭侃誠
主題與關鍵字:
低溫複晶矽 電漿輔助化學氣相沈積 薄膜電晶體 液晶顯示器 LTPS PECVD TFT LCD
描述:
來源期刊:機械工業
卷期:222 民90.09
頁次:頁198-205
日期:
20010900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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