電漿輔助化學氣相沈積系統淺論
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- 資料識別：
- A01019590
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭侃誠
- 主題與關鍵字：
- 低溫複晶矽 電漿輔助化學氣相沈積 薄膜電晶體 液晶顯示器 LTPS PECVD TFT LCD
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:222 民90.09
- 頁次:頁198-205
- 日期：
- 20010900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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