微光柵製程及系統應用技術簡述
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- 資料識別：
- A01019569
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳奇夆 姚柏宏 鄭瑞庭 廖英彥
- 主題與關鍵字：
- 微光學 微光柵 準分子雷射加工 超精密機械加工 Micro-optics Micro-grating Excimer laser machining Ultra-precision machining
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:221 民90.08
- 頁次:頁118-127
- 日期：
- 20010800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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