基板多層膜製程與特性分析
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- 資料識別：
- A01019567
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭昇鑫 歐陽浩 蔡哲正 林宏彝
- 主題與關鍵字：
- 磁性薄膜成長 結構與特性檢測 Growth of magnetic thin film Characterization of structure and properties
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:221 民90.08
- 頁次:頁102-111
- 日期：
- 20010800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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