以電子迴旋共振電漿化學氣相沉積法成長矽碳氮晶體薄膜之研究
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- 資料識別：
- A01019239
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳季珍 陳貴賢 林麗瓊
- 主題與關鍵字：
- Silicon carbon nitride ECR plasma CVD H atom CH[feb0]NH[feaf] 電子迴旋共振電漿化學氣相沉積 矽碳氮晶體薄膜
- 描述：
- 來源期刊:化工
- 卷期:48:4=216 民90.08
- 頁次:頁1-10
- 日期：
- 20010800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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