動態隨機存取記憶體單元中之冠狀電容的設計
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- 資料識別：
- A01001445
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔣忠誠(Chiang， Chung-cheng)
- 主題與關鍵字：
- 冠狀電容 犧牲層 接觸開口 選擇性蝕刻 非等向性蝕刻 介電層 Crown-type capacitor Contact opening Selectively etching Anisotropically etching Dielectric layer Sacrificial layer
- 描述：
- 來源期刊:修平學報
- 卷期:2 民90.03
- 頁次:頁221-231
- 日期：
- 20010300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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