高速熱處理的晶圓穩態熱流分析
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- 資料識別：
- A01016584
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 卓統民(Chou， Tong-min) 林育才(Lin， Yur-tsai)
- 主題與關鍵字：
- 高速熱處理 晶圓溫度均勻性 計算流力與熱傳 Rapid thermal processing Wafer temperature uniformity Computational fluid dynamics and heat transfer
- 描述：
- 來源期刊:技術學刊
- 卷期:16:2 民90.06
- 頁次:頁345-352
- 日期：
- 20010600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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