相變化光蝶濺鍍用介電層靶材製作及薄膜性質
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- 資料識別：
- A01014066
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 廖文豪 曾慶德 趙勤孝 陳金多 顏伯甫
- 主題與關鍵字：
- 介電層 靶材 硫化鋅 熱壓燒結 薄膜濺鍍
- 描述：
- 來源期刊:粉末冶金會刊
- 卷期:26:2 民90.05
- 頁次:頁64-69
- 日期：
- 20010500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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