強介電Pb(Zr,Ti)O[feb0]薄膜之磁控濺鍍製備及特性分析

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資料識別:
A01013458
資料類型:
期刊論文
著作者:
孫裕昌(Sun, Yu-chang) 陳嘉峰(Chen, Chia-feng) 呂宗昕(Lu, Chung-hsin)
主題與關鍵字:
鋯鈦酸鉛 薄膜 磁控濺鍍法 Lead zirconate titanate Thin film RF magnetron suttering
描述:
來源期刊:國立臺灣大學工程學刊
卷期:82 民90.06
頁次:頁41-48
日期:
20010600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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