Modeling Overlay Errors and Sampling Strategies to Improve Yield
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- 資料識別：
- A01013218
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 簡禎富(Chien， Chen-fu) 張國浩(Chang， Kuo-hao) 陳志萍(Chen， Chih-ping)
- 主題與關鍵字：
- 覆蓋誤差 對準機 良率改善 決策分析 半導體製造 Overlay Stepper Yield improvement Decision analysis Semiconductor manufacturing
- 描述：
- 來源期刊:工業工程學刊
- 卷期:18:3 民90.05
- 頁次:頁95-103
- 日期：
- 20010500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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