奈米級三次元量測儀研製
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- 資料識別：
- A01012292
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 范光照 張所鈜 鍾添東
- 主題與關鍵字：
- 奈米級三次元量測儀結構 自動聚焦探頭 微動平臺 繞射干涉
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:238 民90.06
- 頁次:頁14-23
- 日期：
- 20010600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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