製作低溫複晶矽平面顯示器之驅動薄膜電晶體所採用的準分子雷射系統及退火技術

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資料識別:
A01012111
資料類型:
期刊論文
著作者:
林敬偉 曾章和 常鼎國 鄭晃忠
主題與關鍵字:
低溫複晶矽平面顯示器 薄膜電晶體 準分子雷射
描述:
來源期刊:電子月刊
卷期:7:6=71 民90.06
頁次:頁142-148
日期:
20010600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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