淺談微振動對於精密半導體微影設備的影響
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- 資料識別：
- A01011959
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 孫彥碩
- 主題與關鍵字：
- 關鍵尺寸 曝光廣度 焦距深度 數值光圈 位移標準差 製程視窗 Critical dimension Exposure latitute Depth of focus Numerical aperature MSD Process window
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:219 民90.06
- 頁次:頁134-140
- 日期：
- 20010600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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