無塵室用FFU之出風氣流性能量測與分析

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資料識別:
A01011175
資料類型:
期刊論文
著作者:
胡石政(Hu, S. C.) 李昇榮(Lee, S. R.) 林瑋義(Lin, W. I.) 詹皇烈(Chan, H. L.)
主題與關鍵字:
半導體廠 無塵室 送風系統 FFU Fan filter unit
描述:
來源期刊:冷凍與空調
卷期:9 民90.06
頁次:頁117-125
日期:
20010600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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