無塵室用FFU之出風氣流性能量測與分析
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A01011175
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 胡石政(Hu， S. C.) 李昇榮(Lee， S. R.) 林瑋義(Lin， W. I.) 詹皇烈(Chan， H. L.)
- 主題與關鍵字：
- 半導體廠 無塵室 送風系統 FFU Fan filter unit
- 描述：
- 來源期刊:冷凍與空調
- 卷期:9 民90.06
- 頁次:頁117-125
- 日期：
- 20010600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
