有機矽化氫利用CVD方式沉積低介電薄膜之特性研究
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- 資料識別：
- A01000751
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林森弘
- 主題與關鍵字：
- 有機矽化氫 低介電薄膜 CVD
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:7:3=68 民90.03
- 頁次:頁158-161
- 日期：
- 20010300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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