Retardation of Epitaxial Realignment by Implantation of Argon in P狇/N Poly-Si or α-Si Emitter Diode
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- 資料識別：
- A01000600
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李隆盛(Lee， Lurng-shehng) 李崇仁(Lee， Chung-len)
- 主題與關鍵字：
- 氬離子植入 磊晶排列 複晶射極二極體 Ar implantation Epitaxial realignment Polyemitter diode
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Electrical Engineering
- 卷期:8:1 民90.02
- 頁次:頁1-7
- 日期：
- 20010200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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