微系統類LIGA製程光刻技術
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- 資料識別：
- A01000575
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊啟榮 強玲英 郭文凱 林郁欣 林暉雄 張哲瑋 趙俊傑
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 類LIGA製程
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:22:4=120 民90.02
- 頁次:頁33-45
- 日期：
- 20010200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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