掃描式探針顯微鏡在半導體產業之新應用
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- 資料識別：
- A01000365
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡增光 張茂男 吳柏偉 潘扶民
- 主題與關鍵字：
- 半導體產業 掃描式探針顯微鏡 Scanning probe microscopy SPM
- 描述：
- 來源期刊:科學發展月刊
- 卷期:29:2 民90.02
- 頁次:頁97-101
- 日期：
- 20010200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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