題名:半導體製造裝置用語辭典
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- 資料識別：
- 索書號:R 448.8704 8336 89
- 國際標準書號:9572127470
- 系統識別碼:000796504
- 資料類型：
- 書目
- 著作者：
- 編譯:孫清華
- 主題與關鍵字：
- 類號:448.8704
- 描述：
- 版次:二版
- 裝訂:平裝
- 簡介:本書收錄半導體涉及之電子、機械、化學、光學、真空、印刷工程等產業領域辭彙用語2,400個，用語按製造半導體7種製程分類編排，含括設計、光罩製作、晶圓製造、晶圓處理、裝配、檢查、設備、環境之工程用語，書末並附英文用語索引以利檢索。各類工程用語按使用頻率高低依序排列；每個用語列其編號、用語及用語說明，用語依英文、中文及日文次序排列，便於對照。部分辭彙輔以圖片說明，幫助讀者理解。本書可作為大專院校電子相關科系學生、半導體製造業等產業界從業人員之實用參考。（陳亦暉）
- 是否入選:N
- 出版者：
- 出版社:全華
- 出版地:臺北市
- 日期：
- 出版年份:2000
- 原始出版日期:民89二刷
- 格式：
- 1冊
- 語言：
- 中文
- 管理權：
- 典藏單位:國家圖書館
授權聯絡窗口
- 圖文授權請逕洽出版者或作者。 資料庫相關問題請洽國家圖書館知識服務組 ref@ncl.edu.tw
