低應力快速拋光450mm晶圓
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- 資料識別：
- A11007250
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 宋健民
- 主題與關鍵字：
- 半導體 集成電路 化學機械平坦化 鑽石碟 精密拋光 450mm晶圓 22nm製程
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:330 2010.09[民99.09]
- 頁次:頁78-90
- 日期：
- 20100900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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