低溫多晶矽膜再結晶特性與晶粒尺寸之光學檢測系統研發
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- 資料識別：
- A11005087
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全(Kuo， Chil-chyuan) 趙金聖(Chao， Chin-sheng)
- 主題與關鍵字：
- 低溫多晶矽膜 晶粒尺寸 再結晶特性 光學檢測系統 Low-temperature polycrystalline silicon Grain size Recrystallization characterization Optical measurements
- 描述：
- 來源期刊:先進工程學刊
- 卷期:6:1 2011.01[民100.01]
- 頁次:頁31-37
- 日期：
- 20110100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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