結合金屬轉印與曲面黃光微影技術製程應用於製作次微米結構之滾輪模仁
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- 資料識別：
- A11046107
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃國峰 李永春
- 主題與關鍵字：
- Curved surface photolithography Air ring coating system Metal transfer UV exposure 金屬轉印 曲面黃光微影技術 微米結構 滾輪模仁
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:26 2011.12[民100.12]
- 頁次:頁71-75
- 日期：
- 20111200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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