低驅動電壓之微機電式數位類比轉換機構及其在光學量測系統之應用
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- 資料識別：
- A11046079
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 馬政文 廖信宏 楊燿州 郭文正
- 主題與關鍵字：
- 微機電 微鏡面 數位/類比轉換器 白光干涉系統
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:26 2011.12[民100.12]
- 頁次:頁35-39
- 日期：
- 20111200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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