ITO薄膜的濺鍍技術及其在光電元件上的應用
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- 資料識別：
- A11041692
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃念青 郭定彥 盧信冲
- 主題與關鍵字：
- 氧化銦錫 薄膜 平面磁控濺鍍 光電元件 ITO
- 描述：
- 來源期刊:化工技術
- 卷期:19:10=223 2011.10[民100.10]
- 頁次:頁140-154
- 日期：
- 20111000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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