可水解基板平坦化加工分析及應用
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- 資料識別：
- A11039158
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳炤彰 周炳伸 馬培盛 李俊誼 枋明輝
- 主題與關鍵字：
- 化學機械平坦化 研磨液 鋁酸鋰基板 發光二極體 水解材料
- 描述：
- 來源期刊:機械月刊
- 卷期:37:10=435 2011.10[民100.10]
- 頁次:頁32-42
- 日期：
- 20111000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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