適用於小尺寸元件電容量測之電荷式電容量測方法
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- 資料識別：
- A11039037
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳光釗 盧道政 張馨文 張耀文 盧志遠
- 主題與關鍵字：
- 電容量測 電荷式電容量測方法 金屬接線電容 金氧半電晶體元件電容 虛擬填充金屬
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:17:10=195 2011.10[民100.10]
- 頁次:頁130-147
- 日期：
- 20111000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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