奈米尺度細線路圖案化技術介紹(上)
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- 資料識別：
- A11038143
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 高依琳(Kao， I. L.) 劉怡君(Liu， Y. C.)
- 主題與關鍵字：
- 奈米尺度 奈米壓印 定向自組裝 Nanoscale Nanoimprint lithography NIL Directed self-assembly DSA
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:297 2011.09[民100.09]
- 頁次:頁96-104
- 日期：
- 20110900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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