CMOS製程衍生殘留應力模擬技術
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- 資料識別：
- A11036862
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 毛俊凱 王欽宏 李新立
- 主題與關鍵字：
- 互補式金屬氧化半導體 薄膜殘留應力 電容式麥克風 有限元素分析
- 描述：
- 來源期刊:工程
- 卷期:84:3 2011.06[民100.06]
- 頁次:頁34-43
- 日期：
- 20110600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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