反應曲面法在白色光阻開發的應用
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- 資料識別：
- A11036796
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃國棟 張孟浩 陳育翔 李降雲
- 主題與關鍵字：
- 反應曲面法 中央合成設計實驗 光阻 熱轉印 交聯密度 Response surface methodology Central composite design Photo-resist Thermal transfer Curing density
- 描述：
- 來源期刊:化工技術
- 卷期:19:5=218 2011.05[民100.05]
- 頁次:頁80-94
- 日期：
- 20110500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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