真空幫浦抽氣性能檢測技術於半導體及光電產業之應用
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- 資料識別：
- A11036433
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 謝汎鈞(Hsieh， Fan-chun) 林炳宏(Lin， Ping-hung) 呂日清(Lu， Jih-ching)
- 主題與關鍵字：
- 真空幫浦 抽氣原理 半導體 光電產業
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:32:6=182 2011.06[民100.06]
- 頁次:頁84-90
- 日期：
- 20110600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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