奈米壓痕技術探討奈米薄膜之機械特性
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- 資料識別：
- A11034857
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳道星 涂勝龍 蘇彥勳 申永輝 方得華
- 主題與關鍵字：
- 超高真空離子束濺射 奈米壓痕技術 奈米薄膜 薄膜材料 奈米鈦薄膜 機械性質 電阻率 光學特性 UVIBS
- 描述：
- 來源期刊:臺灣奈米會刊
- 卷期:26 2011.09[民100.09]
- 頁次:頁21-26
- 日期：
- 20110900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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