Particle Deposition on a 300 mm Wafer Moving in the Opposite Direction of the Airflow in a Uni-directional Cleanroom
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- 資料識別：
- A11029683
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Shih， Yang-cheng Hu， Shih-cheng Ku， Chen-wei Chein， Reiyu
- 主題與關鍵字：
- Particle deposition velocity Dynamic simulation Computational fluid dynamics CFD
- 描述：
- 來源期刊:Aerosol and Air Quality Research
- 卷期:10:4 2010.08[民99.08]
- 頁次:頁316-322
- 日期：
- 20100800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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