低溫多晶矽薄膜表面粗糙度光速光學檢測系統研發
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- 資料識別：
- A11002956
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全 趙金聖
- 主題與關鍵字：
- 光學檢測系統 低溫多晶矽薄膜 表面粗糙度
- 描述：
- 來源期刊:機電整合
- 卷期:149 2011.01[民100.01]
- 頁次:頁57-64
- 日期：
- 20110100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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