Quantitative Techniques for Measuring Cleanroom Wipers with Respect to Airborne Molecular Contamination
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- 資料識別：
- A11028837
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Shiue， Angues Hu， Shih-cheng Lin， Chi-hung Lin， Shin-in
- 主題與關鍵字：
- Cleanroom Wiper Airborne molecular contamination Particle Ion Nonvolatile residue
- 描述：
- 來源期刊:Aerosol and Air Quality Research
- 卷期:11:4 2011.08[民100.08]
- 頁次:頁460-465
- 日期：
- 20110800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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