The Use of Mahalanobis Distance in Solving the Sputtering Process Thin-Film Thickness Uniformity Quality Problem

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資料識別:
A11023287
資料類型:
期刊論文
著作者:
Yang, Taho Cheng, Yuan-ting Shen, Yu-an
主題與關鍵字:
Discriminant analysis DA Mahalanobis distance MD Thin-film thickness uniformity
描述:
來源期刊:中國工程學刊
卷期:33:7 2010.11[民99.11]
頁次:頁1021-1033
日期:
20101100
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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