矽薄膜太陽電池鍍膜設備之電漿放射光譜分析儀監控簡介
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- 資料識別：
- A11021979
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林冠宇 杜陳忠
- 主題與關鍵字：
- 電漿輔助化學氣相沉積設備 電漿成分光譜分析儀 回饋控制 比例積分控制器 製程訊號飄移 Plasma enhanced chemical vapor deposition PECVD Optical emission spectroscopy OES Feedback control Proportional-integral controller Process signal drift
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:338 2011.05[民100.05]
- 頁次:頁52-63
- 日期：
- 20110500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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