低壓化學氣相沉積技術
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- 資料識別：
- A11021971
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃建福 吳建良 楊宏仁 王友志 劉俊岑
- 主題與關鍵字：
- 低壓化學氣相沉積 透明導電膜 太陽電池 LPCVD TCO Solar cell
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:338 2011.05[民100.05]
- 頁次:頁19-29
- 日期：
- 20110500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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