直流磁控濺鍍沉積氮化鋁鈦／氮化釩多層薄膜機械性質之研究
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- 資料識別：
- A11001602
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉見成(Liu， C. C.) 蔡明璟(Tsai， M. C.)
- 主題與關鍵字：
- 氮化鋁鈦／氮化釩多層薄膜 直流磁控濺鍍 磨耗 TiA1N/VN multilayers DC reactive magnetron sputtering Wear
- 描述：
- 來源期刊:陶業
- 卷期:29:3 2010.07[民99.07]
- 頁次:頁41-48
- 日期：
- 20100700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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