在SOI基板上製作及組裝的微機電光學讀取頭
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- 資料識別：
- A11018100
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林建安 吳昌修 邱一 施錫富
- 主題與關鍵字：
- 組裝 非垂直鏡面 光學讀取頭 絕緣層上矽晶圓 Assembly Nonvertical mirror Optical pickup SOI
- 描述：
- 來源期刊:微系統暨奈米科技協會會刊
- 卷期:24 2010.11[民99.11]
- 頁次:頁54-59
- 日期：
- 20101100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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