Development and Implementation of Ultrahigh Vacuum Robot System for Semiconductor Wafer-Handling
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- 資料識別：
- A11017154
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳献忠(Chen， Hsien-chung)
- 主題與關鍵字：
- 晶圓搬運 機械手臂 超高真空 磁力聯軸器 運動控制 Wafer-handling Robot Ultrahigh vacuum Magnetic coupling Motion control
- 描述：
- 來源期刊:新新科技年刊
- 卷期:7 2011.01[民100.01]
- 頁次:頁75-91
- 日期：
- 20110100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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