以奈米壓痕與穿透式電子顯微鏡分析氮化鋁鎵半導體薄膜之力學特性

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資料識別:
A11017034
資料類型:
期刊論文
著作者:
簡賸瑞(Jian, Sheng-rui) 林亭均(Lin, Ting-chun) 楊秉豐(Yang, Ping-feng) 賴逸少(Lai, Yi-shao) 莊振益(Juang, Jenh-yih)
主題與關鍵字:
氮化鋁鎵半導體薄膜 奈米壓痕 穿透式電子顯微鏡
描述:
來源期刊:科儀新知
卷期:32:5=181 2011.04[民100.04]
頁次:頁68-74
日期:
20110400
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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