偏壓電路在多孔矽電化學蝕刻之應用與設計
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- 資料識別：
- A11016021
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林嘉洤(Lin， J. C.) 陳家國(Chen， C. K.)
- 主題與關鍵字：
- 陽極電化學蝕刻 多孔矽 逆向偏壓 掃瞄式電子顯微鏡 Anodization electrochemistry etching Porous silicon Reversion bias scanning electron microscope
- 描述：
- 來源期刊:華岡工程學報
- 卷期:27 2011.01[民100.01]
- 頁次:頁83-87
- 日期：
- 20110100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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