低溫多晶矽膜再結晶特性與晶粒尺寸之光學檢測系統研發
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- 資料識別：
- A11014373
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 郭啟全 趙金聖
- 主題與關鍵字：
- 低溫多晶矽膜 晶粒尺寸 再結晶特性 光學檢測系統 準分子雷射退火
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:17:3=188 2011.03[民100.03]
- 頁次:頁162-178
- 日期：
- 20110300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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