新型多晶矽微機電麥克風之開發與實現

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資料識別:
A11014308
資料類型:
期刊論文
著作者:
詹竣凱 賴威成 吳名清 李俊宏 方維倫
主題與關鍵字:
感測器 雙層多晶矽製程 微機電 麥克風 電容式 剛性振膜 Sensor Two poly silicon processes MEMS Microphone Capacitive Rigid diaphragm
描述:
來源期刊:電子月刊
卷期:17:1=186 2011.01[民100.01]
頁次:頁77-90
日期:
20110100
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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