新型多晶矽微機電麥克風之開發與實現
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- 資料識別：
- A11014308
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 詹竣凱 賴威成 吳名清 李俊宏 方維倫
- 主題與關鍵字：
- 感測器 雙層多晶矽製程 微機電 麥克風 電容式 剛性振膜 Sensor Two poly silicon processes MEMS Microphone Capacitive Rigid diaphragm
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:17:1=186 2011.01[民100.01]
- 頁次:頁77-90
- 日期：
- 20110100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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