Nitrogen Depletion Behavior of High-Nitrogen Oxynitride Films After Reoxidation with O₂ and N₂O Treatment

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資料識別:
A11013585
資料類型:
期刊論文
著作者:
林柏村(Lin, Bo-chun) 賴瓊惠(Lai, Chiung-hui)
主題與關鍵字:
Oxynitride Rapid thermal oxidation Nitrogen depletion Nitrous oxide Reoxidation
描述:
來源期刊:Chung Hua Journal of Science and Engineering
卷期:7:3 2009.09[民98.09]
頁次:頁75-77
日期:
20090900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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