Nitrogen Depletion Behavior of High-Nitrogen Oxynitride Films After Reoxidation with O₂ and N₂O Treatment
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- 資料識別：
- A11013585
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林柏村(Lin， Bo-chun) 賴瓊惠(Lai， Chiung-hui)
- 主題與關鍵字：
- Oxynitride Rapid thermal oxidation Nitrogen depletion Nitrous oxide Reoxidation
- 描述：
- 來源期刊:Chung Hua Journal of Science and Engineering
- 卷期:7:3 2009.09[民98.09]
- 頁次:頁75-77
- 日期：
- 20090900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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